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潔凈厭氧高溫氣氛爐
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潔凈厭氧高溫氣氛爐
C1-008
光刻工藝后段，光刻膠固化。
特點
  • 最高工作溫度360℃和600℃、潔凈度100級、氧濃度20ppm以下。
  • 程序運轉功能，有自動/手動兩種操作模式。
  • 快速升溫、降溫，降溫時可采用空冷、空冷加水冷兩種方式。
  • 配置了自動門鎖、數字式壓力表、數字式流量計等。
  • 全不銹鋼材質。
  • 在安全方面，配置了自動過升防止、過升防止器、氮氣壓力異常、氮氣流量異常、過電流漏電保護斷路器等安全裝置。
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