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等離子灰化機
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外觀圖

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  • 內(nèi)槽

  • 硅晶圓灰化狀態(tài)

等離子灰化機
PR500/510/1000
低溫等離子·經(jīng)典桶型。
特點
  • 大口徑（Φ215mm）石英反應(yīng)腔。
  • 小型一體化設(shè)計。
  • 操作簡單的觸摸屏方式（PR510型）。
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