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潔凈厭氧高溫氣氛爐
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外觀圖

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潔凈厭氧高溫氣氛爐
DTN430C/630C/450C/650C
潔凈度100級、氧濃度低于20ppm的氣氛爐，主要應用于固化半導體晶圓等。
特點
  • 最高工作溫度360℃和500℃。
  • 采用耐熱高性能高效過濾器，可在潔凈的環境下進行高溫烘烤。
  • 高氣密性的壓力箱構造，氧濃度到達時間短，N2 消耗量極低。
  • 磁密封保持高氣密性，采用水冷機構保護密封部件免受熱量影響。
  • 可實現快速升溫和降溫，升降溫速率可調節。
  • 標準裝備有廢液回收裝置，對氣體進行冷卻回收。
安全性
  • 門檢測開關
  • 溫度過升防止器
  • 氧濃度異常安全裝置
  • 氮氣壓力檢測
  • 氮氣流量檢測
  • 冷卻水流量檢測
  • 漏水傳感器
  • 過電流漏電漏電保護開關
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